在中國科學院（yuàn）重大科研裝備研製項（xiàng）目的資助下，力學所國家（jiā）微重力實驗室靳剛課題組成功研製出“光譜橢偏成像係統”及其實用化樣機。

該研（yán）究是利用高靈敏的光學橢偏測量術，同時結合光譜性能及數字（zì）成像技術，具有對複雜（zá）二維分布的納米層（céng）構薄膜樣品的快速光譜成像（xiàng）定量（liàng）測量（liàng）能力。在中科院專家組對儀器性能和各項技術指（zhǐ）標進行現場測試的基礎上，4月1日，驗收專家組一致認為：係統為複雜橫向（xiàng）結構的大麵積多層納米薄膜（mó）樣品的快速表征和物性分析提供了有（yǒu）效手段，是（shì）一種納米薄（báo）膜三維結構表征的新方法。

光譜橢偏成像係統的特點在於：信息量大，可同時測量大麵積樣（yàng）品上各微區的連續光譜橢偏參數，從而可以獲得相關材料物理參數(如厚度、介電函數、表麵微粗糙（cāo）度、合成材料中的組分比例等)及其空間分布（bù）;空間分（fèn）辨率高，對納米薄膜的縱向分辨和重複性均（jun1）達到0.1nm、橫向（xiàng）分辨達到微（wēi）米（mǐ）量級;檢測速度快，單波長下獲得圖像視場內各微區(42萬像素以上)的橢偏參量(ψ和Δ)的采樣時間達到7秒，比機械掃描式光譜橢偏儀提高2-3個量級;結果（guǒ）直觀，形成視場內對比（bǐ）測量，可準確（què）定位和排除偽信號，這是單光束光譜（pǔ）橢偏儀所（suǒ）不具備的;並且係統自動化程度高，操作簡便。

該係統（tǒng）既可應用於單光（guāng）束（shù）光（guāng）譜（pǔ）橢偏儀所覆蓋的領域，也可應用於單波長或分立波長的（de）橢偏成像儀所涉及的領域（yù），適合同時需要高空間分辨和光譜分（fèn）辨測量的納米薄膜器件測量的場合，這將為橢偏測量開拓新的應用方向。已成（chéng）功應用於“863”項目“針對腫瘤（liú）標（biāo）誌譜無（wú）標記檢測蛋白質微（wēi）陣列生物傳感器（qì）的研製（zhì）”等研究工作中，並將在微/納製造、生物膜（mó）構（gòu）造、新型電子（zǐ）器件、生物芯片及高密度存儲器件等領域中發揮重要作用。